【技术开发单位】哈尔滨工业大学
【技术概述】技术开发单位提出了基于双光纤共球耦合的微位移传感方法，研制成功深微孔瞄准传感器的测量系统，解决了测头可测深度和孔径大小光学系统景深受限制的难题，可测最小孔径达φ0.1mm，深径比不大于 9：1；提出了基于微焦准直的光纤微位移传感方法，研制成功深微孔瞄准传感器与测量系统，其位移放大倍率达 2000 倍～ 10000 倍，分辨力达 1nm，深微孔瞄准传感器具有深 5mm 的测量能力，可测最小孔径达 φ0.1mm，解决了大深径比微孔径超精密测量难题。提出了基于球形电容极板的微位移传感方法，研制成功深小孔瞄准传感器与测量系统，可测最小孔径达 φ3.0mm，可测孔深径比不大于 13:1，测量分辨力达 4nm，解决了毫米级大深径比小孔超精密测量难题。研制成功国内第一台大深径比微孔和小孔超精密测量仪，填补了国内空白。
【技术指标】采用微力或非接触式瞄准与测量方式；孔径测量范围为 φ0.1 mm ～ φ20mm，扩展不确定度为 0.5μm（k=2）；可测长径比，φ0.1 mm ～ φ1.0mm（不含 φ1.0mm）的微孔部分为 9:1， φ1.0 mm ～ φ20.0mm 的小孔部分为 13 :1。
【技术特点】采用瞄准触发式测量原理，通过采用双光纤共球耦合瞄准式传感器、单光纤微焦准直式传感器和球形电容极板式传感器，形成测量过程中的准确瞄准。该产品在可测最小孔径、可测最大深度和测量精度三个核心指标方面均优于目前国际最高水平。
【先进程度】国际领先
【技术状态】试生产阶段
【适用范围】先进制造领域
【专利状态】已授权发明专利 22 项，含国际发明专利 3 项。
【合作方式】合作开发、技术服务；投资需求 1，200 万人民币，转化周期 1 ～ 2 年。
【预期效益】航天、航空的研究单位、企事业单位和计量技术机构市场需求约为 100 台，汽车工业领域市场需求约为 700 台。以每台售价 150 万元计，可创产值 12.0 亿元人民币，同时在三坐标测量领域具有推广应用价值。
【联系方式】盛先生 0757-82727119/18042810582
【产品展示】
赵小姐
0757-82727119 0757-83072166
